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高溫氣體液體流量控制器MFC及流量計： -- 可快速精確測量過程氣體/液體/蒸汽的體積流量/質量流量； -- 采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制 -- 測量液體時，帶有排氣孔可輕松排出空氣 -- 集成多功能數字顯示屏，通過屏幕按鈕便可控制設定值及PID閥門調節(jié)，開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊 -- 內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感。

沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測量高溫氣體的質量流量，可以以質量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。

熱式高溫分體氣體質量流量控制器及流量計，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測量高溫氣體的質量流量，可以以質量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。